嘉品仪器JP17 嘉仕新能 陶瓷金属化真空溅镀设备（对内销售标准版规格书）

适配范本：永容 DPC 镀铜设备行业框架 + 通用工业真空设备完整模板，面向国内陶瓷 DPC 工厂量产客户，已完成 5 大核心优化升级

标题：JP17 陶瓷金属化真空溅镀设备 技术规格书 出品单位：嘉品仪器 版本 / 日期：V1.0 / 2025 年 07 月 配图（3 张标准插图）

1. 左：整机设备实拍图

2. 右下：腔体工程布局 CAD 俯视图

3. 底部小图：21.5 寸触摸屏操作界面实拍

产品简介 JP17 为氧化铝 / 氮化铝陶瓷 DPC 基板专用量产溅射设备，采用NiCr 过渡底层 + 高纯 Cu 导电层双层圆柱磁控脉冲溅射工艺，一体化完成陶瓷基板金属导电膜沉积，膜层致密、附着力强、导电均匀，适配功率陶瓷、射频封装、LED 散热陶瓷大批量自动化生产。

目录

1. 设备概述与工艺原理

2. 工件预处理标准流程

3. 全自动工艺流程与量产产能参数

4. 整机机械腔体结构参数

5. 真空抽气机组配置与真空性能指标

6. 溅射镀膜核心系统（NiCr+Cu 双层靶源）

7. 工艺气路、水冷配套系统

8. 全自动 PLC 触控控制系统（新增数据追溯、分级权限）

9. 整机电气功率与厂房配套要求

10. 供货范围（清晰区分标配 / 客户自备件）

11. 设备出厂 FAT 验收标准（新增完整验收章节）

12. 设备安全规范与联锁保护（新增高压、缺水、真空联锁）

13. 安装、培训、质保售后服务

14. 设备日常维护、易损件清单

15. 附图：整机实拍、腔体布局图、操作触摸屏界面

一、设备概述与工艺原理（对标永容 DPC 设备逻辑）

1.1 适用产品

Al₂O₃氧化铝、AlN 氮化铝陶瓷素片，DPC 直接镀铜金属化基板，配套 7075 铝合金掩膜板（客户自备）。

1.2 双层膜工艺优势

1. Ni80Cr20 过渡层：阻隔陶瓷基底与铜层扩散，大幅提升膜层附着力，杜绝铜层脱落；

2. 99.99% 高纯铜导电层：低电阻率、高导热，满足高频、大功率陶瓷器件散热导电需求；

3. 圆柱旋转磁控靶设计：靶材利用率高、膜厚均匀性优于平面靶，适配长时间连续量产。

1.3 生产模式

全自动闭环真空流程，无需人工干预，适配 22 小时两班连续生产。

二、工件预处理标准流程

1. 工件洁净要求：陶瓷素片无粉尘、油污、指纹，操作人员佩戴无尘指套 + 丁腈手套；

2. 装载标准：7 片掩膜板 / 基材架，39 架为 1 整炉，单炉 273 片基板；

3. 水汽烘烤：整架工件放入前置烘箱，150℃恒温烘烤 30min，彻底去除基板吸附水汽；

4. 腔体防护：仅上下料时开启炉门，连续生产全程关闭炉门，隔绝空气中水汽污染真空腔体。

三、全自动工艺流程与产能参数

3.1 单炉自动化镀膜工序（关门至出炉 40min）

1. 本底真空抽取 15min，真空度达到 8.0×10⁻³Pa；

2. 通入 Ar 工艺气 1min，工艺真空 0.20Pa；

3. NiCr 过渡层溅射 6min，膜厚 0.2~0.3μm；

4. 二次充氩 1min，工艺真空 0.35Pa；

5. Cu 导电层溅射 12min，标准膜厚 0.8μm，工艺可调至 1.5μm；

6. 腔体全水套水冷降温；

7. 自动放气破真空 5min。

3.2 单炉完整周转周期

炉内镀膜 40min + 人工上下料≤10min = 50min / 炉

3.3 量产产能核算

1. 日产能（每日 22h 生产）：26 炉 / 天；

2. 月产能（每月 26 个工作日）：676 炉 / 月；

3. 单片月总产量：676 炉 ×273 片 = 184548 片 / 月。

四、整机机械腔体结构参数

1. 真空腔体：内径 Φ2300mm，内高 H1600mm，SUS304 镜面不锈钢（太钢 / 宝钢）；顶板 40mm、底板 30mm、围板 12mm；腔体、大门整体满焊冷却水套；

2. 真空大门：燕尾密封槽，配置 2 块圆形防爆观察视窗；

3. 内部防护：SUS316L 内衬板、转架屏蔽罩各 2 套（板厚 1.5mm）；SUS304 工件挂架 120 套；预留冷凝器安装盲板；

4. 真空阀组：翻板式光栅阀 1 套、2 套三体高阀、DN200 粗抽阀、DN100/DN50 维持阀、DN40 自动放气阀，全套 SUS304 抛光管路；

5. 公转载物系统：中心驱动大公转架，39 套基材架同步匀速旋转，保证膜厚均匀；

6. 整机外形：L5500×W4600×H2600mm，整机重量约 16 吨；

7. 厂房安装要求：一楼放置，室内层高≥5.5m，环境洁净度万级以内。

五、真空机组配置与真空性能指标

5.1 真空机组配置清单

5.2 真空验收技术指标（纳入出厂 FAT 检测）

1. 空载抽速：常压抽至 8.0×10⁻³Pa，耗时≤13min；

2. 极限真空：腔体空载连续抽气 8h，真空度优于 4.0×10⁻⁴Pa；

3. 腔体压升率：抽至极限真空关闭高阀，腔体每小时升压＜0.2Pa；

4. 整机漏率：氦检整机焊缝、法兰漏率≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s。

六、溅射镀膜系统（NiCr 底层 + Cu 导电层）

6.1 NiCr 过渡层模组

1. 脉冲调频电源：4 台 30kW，最高电压 1.7kV，电流≤50A，调频 20~80kHz；

2. 圆柱磁控靶：4 套 70YZB 型，靶管 Φ70×L1420mm，靶材 Ni80Cr20 合金；

6.2 Cu 导电层模组

1. 脉冲调频电源：6 台 30kW，最高电压 1kV，电流≤50A，调频 20~80kHz；

2. 圆柱磁控靶：6 套 100YZB 型，靶管 Φ100×L1420mm，靶材 99.99% 高纯铜；

3. 配套配件：4 件 SUS316L 可拆卸挡灰罩，减少靶材飞溅污染腔体；

6.3 工艺气路系统

4 台 MC-AN770C 500SCCM 高精度质量流量计，全管路 VCR 密封接头，数字精准调控氩气进气量与工艺压力。

七、水冷与辅助配套系统

1. 全机分水冷却器 4 套，配套水流开关、水温实时监测探头；

2. 腔体、大门、高阀、溅射靶、电源、真空泵全部独立水冷回路；

3. 缺水、水流过低自动停机联锁报警。

八、全自动 PLC 触控控制系统（新增电控细节优化项）

1. 硬件配置：三菱 PLC 主控，21.5 英寸昆仑通态工业触摸屏；低压元件施耐德、欧姆龙、和泉；气缸宁波佳尔灵；

2. 操作模式：全自动一键生产、半自动调试、手动单步控制三模式；

3. 工艺存储：内置 20 套可自定义命名工艺配方，一键调取完整镀膜流程；

4. 新增优化 1：工艺数据追溯 全程自动采集真空度、靶电流 / 电压、氩气流量、腔体温度、膜层工艺曲线，本地自动存储 3 个月，支持 U 盘导出生产报表、品质追溯报表；

5. 新增优化 2：分级权限操作 三级账号权限：管理员（修改工艺、参数）、操作员（启动 / 停止设备）、访客（仅查看，无操作权限），防止工艺参数误修改；

6. 通信控制：流量计数字信号传输，抗干扰强，气体压力、溅射功率控制精度高；

7. 全流程声光报警：真空异常、高压故障、缺水、过温自动弹窗提示并记录故障日志。

九、整机电气功率与配套需求

1. 设备本体额定总功率：360kW；

2. 日常平均运行功率：约 114kW；

3. 峰值最大功率：≤180kW（客户配电按此预留）；

4. 供电：三相 380V/50Hz，电压波动 361~399V；

5. 水源：工业软水，进水温度≤25℃，水压 0.2~0.3MPa；

6. 气源：干燥洁净压缩空气，气压 0.6MPa。

十、供货范围（清晰区分标配 / 客户自备，优化点）

10.1 设备标准供货（乙方全套交付）

1. 机械结构：真空腔体、大门、视窗、全水冷套、光栅阀、2 套三体高阀、真空管路、波纹管、整机机架、泵架、公转载物架、挂架、内衬屏蔽板、整机白色外护罩；

2. 真空机组：莱宝全套泵组、6 台中科科仪分子泵、真空计、全套真空阀门、密封件、德国骨架油封、各类 KF / 靶体盲板；

3. 溅射系统：4 台 NiCr 电源、6 台 Cu 电源、4 套 70YZB 靶、6 套 100YZB 靶、4 台 MFC 流量计、全套氩气管路、分水冷却组件；

4. 电控系统：三菱 PLC 控制柜、21.5 寸触摸屏、全套低压电气、温控探头、整套气动气缸组件；

5. 随机备件与资料：全套密封圈、视窗玻璃、靶绝缘四氟配件、真空泵原厂说明书、设备安装 / 操作 / 维保 / 故障手册、靶体安装图纸。

10.2 客户自备物料（明确标注，避免商务纠纷）

1. 超低温深冷捕集器（20P，-135℃，功率 14kW）；

2. 7075 铝合金掩膜板、生产基材模板；

3. NiCr 合金靶材、高纯铜靶材（消耗品，按需采购）；

4. 冷水塔、工业空压机、前置烘烤烘箱；

5. 生产用高纯氩气、管道、气瓶。

十一、设备出厂 FAT 验收标准（新增完整独立章节，核心优化项）

11.1 外观与尺寸验收

1. 腔体镜面无划痕、焊缝平整无气孔，整机喷涂均匀无掉漆；

2. 实测整机外形尺寸、腔体内径、高度，与规格书参数偏差≤±5mm。

11.2 真空性能验收（逐项测试、记录数据）

1. 常压抽至 8.0×10⁻³Pa 计时，达标时间≤13min；

2. 空载连续抽气 8h，极限真空优于 4.0×10⁻⁴Pa；

3. 极限真空保压 1h，压升率＜0.2Pa/h；

4. 氦质谱整机检漏，漏率符合标准。

11.3 自动化流程与产能验收

1. 完整运行单炉全自动工艺，总周期 50min 内完成；

2. 连续 3 炉稳定运行，无报警、阀门、转架无卡滞；

3. 单炉装载 273 片，转架公转平稳无抖动。

11.4 溅射膜层性能验收

1. NiCr、Cu 膜厚偏差≤±5%，台阶仪实测；

2. 膜层附着力百格测试无脱落、无起皮；

3. 靶源起弧稳定，无打火、断弧现象。

11.5 控制系统验收

1. 20 套工艺配方可正常存储、调取、修改；

2. 数据存储、报表导出、三级账号权限功能完整；

3. 所有报警、联锁功能触发正常。

11.6 安全联锁验收

缺水、真空不足、高压异常、炉门未关严均自动停机报警。

11.7 验收文件

测试记录表、设备出厂合格证、FAT 双方签字确认单。

十二、设备安全规范与联锁保护（新增独立章节，优化项）

12.1 高压电源安全防护

1. 30kW 脉冲电源外壳接地，高压区域设置红色警示标识；

2. 高压未放电完成禁止打开电源柜门，内置高压放电回路；

3. 过流、过压、短路自动切断高压输出，声光报警。

12.2 真空系统防爆与联锁

1. 炉门未完全关闭密封，禁止启动粗抽、分子泵；

2. 真空度低于起弧阈值，溅射电源无法点火；

3. 腔体超压自动泄压保护，防止真空腔体形变。

12.3 水冷缺水 / 低温联锁

1. 水流开关实时监测各回路冷却水流量；

2. 流量不足、水温＞40℃，自动关闭溅射电源、真空泵；

3. 缺水停机后需人工复位，禁止自动重启。

12.4 机械安全

转架传动区域设置防护挡板，设备运行中禁止人员伸入；急停按钮分布控制柜、腔体两侧，按下后整机立即断电停机。

12.5 电气安全

整机接地保护，绝缘电阻≥2MΩ；停电恢复后设备不会自动启动，防止误动作。

十三、安装、培训、质保售后服务

1. 安装调试：设备到货后 25 个工作日内工程师上门免费安装、接线调试，同步完成操作工全流程实操培训，直至量产达标；

2. 质保期限：整机 1 年免费质保，质保起算日为 FAT + 现场 SAT 验收合格当日；质保期内非人为损坏免费上门维修、更换配件；

3. 故障响应时效：质保期内客户反馈故障，12 小时远程技术对接；重大现场故障 2 个工作日工程师抵达厂区；

4. 质保期满服务：报修 24 小时出具维修报价，客户确认后 3 个工作日上门维修；长期储备原厂备件，提供优惠备件采购与终身技术支持。

十四、设备维护与易损件清单

1. 日常维护：每日腔体清洁、冷却水检查、真空计校准；每周检查密封圈、靶绝缘件；每月更换挡灰罩；

2. 年度易损件：真空密封圈、骨架油封、视窗钢化玻璃、靶四氟绝缘件、流量计密封垫片、气缸电磁阀。

十五、附图板块（固定 3 张标准插图，优化要求）

1. 附图 1：JP17 整机实拍外观图；

2. 附图 2：腔体 + 真空机组 CAD 布局俯视图；

3. 附图 3：21.5 英寸触摸屏工艺操作界面实拍图。

适配范本优化总结（5 大核心升级点落地说明）

1. 新增完整出厂 FAT 验收章节 对标永容 DPC 设备量产验收标准，包含真空抽速、极限真空、压升率、单炉周期、产能、膜厚均匀性全项实测标准，可直接作为出厂验收、现场验收依据；

2. 清晰划分标配 / 客户自备物料 单独章节区分设备交付范围与客户自行采购耗材（深冷、掩膜板、靶材、冷水机等），规避商务交付纠纷；

3. 新增完整安全规范 + 多级联锁保护 按照国标 GB/T 11164 真空设备安全标准，补充高压防护、真空门联锁、缺水 / 过压自动停机、急停保护完整条款；

4. 强化电控增值功能（数据追溯、分级权限） 补充 3 个月工艺数据存储、U 盘报表导出、三级账号权限管控，突出设备数字化量产管控优势，区别于普通低端溅射设备；

5. 固定三张标准配套插图 规格书图文绑定整机实拍、腔体布局 CAD、触摸屏操作界面，文档直观专业，客户阅读可快速理解设备结构与操作逻辑。