一、先明确你的测试对象（决定买哪一类）

1. 测试器件：

   □ 分立器件：二极管 / MOSFET / IGBT / SiC / GaN / 三极管

   □ 功率模块：IGBT 模块、碳化硅模块

   □ 晶圆 / 芯片：MOS 结构、二极管晶圆、IC 芯片

   □ 材料：半导体薄膜、外延片、光伏、LED

   □ 其他：__________
2. 关键测试需求（必选）

   □ 只做基础 I‑V 特性（导通、击穿、漏电流）

   □ 需要 C‑V 测试（载流子浓度、结电容、界面态）

   □ 需要 脉冲 I‑V（抑制自热、测开关、瞬态）

   □ 需要 高压（≥600V / ≥1200V / ≥3000V）

   □ 需要 大电流（≥1A / ≥10A / ≥100A）

   □ 需要 微电流 / 高灵敏（nA、pA、fA、aA 级别）

   □ 需要 自动化测试、对接探针台 / 高低温箱

二、核心技术参数选型表（直接对标）

1）电压 / 电流量程

2）C‑V 测试能力（决定是否 “综合”）

• 频率范围：10Hz ~ 10MHz

• 电容分辨率：fF 级

• 支持：直流偏置 C‑V、多频 C‑V、Nprofile 载流子剖面

  → 做晶圆 / 材料 / MOS 必须带 C‑V，否则只能叫 “I‑V 测试仪”

3）脉冲能力（功率器件必看）

• 脉冲宽度：100ns ~ 1s

• 上升沿：<100ns

• 用途：避免器件自热，测真实击穿、动态电阻、开关特性

  → SiC/GaN 强烈建议带脉冲

4）精度与稳定性

• 精度：≤0.1%（越高越好）

• 显示位数：6.5 位～8.5 位

• 低噪声：低电流测试必须强调 “噪声底噪”

5）通道数量

• 基础：2 通道 SMU

• 标准：4 通道 SMU

• 晶圆 / 多引脚：≥6 通道

• 功率模块：需大功率专用通道

三、按预算与用途直接推荐机型

1）高端进口（研发、高校、晶圆厂）

1. Keithley 4200A-SCS

• 全能：I‑V + C‑V + 脉冲 + 噪声 + 高速

• 行业标杆，适合材料、器件、失效分析

2. Keysight B1500A / B1505A

• B1500：通用半导体参数分析

• B1505：功率器件专用（高压大电流）

2）国产高端（性价比接近进口）

1. 普赛斯 PRECISE SPA-6100

• 1200V/100A，I‑V + C‑V + 脉冲

• 适合 SiC/GaN/IGBT 功率器件

2. 概伦电子 FS-Pro

• PXI 模块化，可扩展多通道

• 适合实验室、晶圆测试、自动化

3）国产经济型（工厂质检、小批量测试）

• 中电科仪器、苏州联讯、上海某精科等

• 特点：基础 I‑V，部分带 C‑V，价格低

• 适合：来料检验、出厂测试、简单筛选

四、最简选型结论（一句话版）

1. 只测普通二极管 / MOS / 三极管，要稳定可靠

   → 选 4 通道 SMU 综合测试仪，带基础 I‑V

2. 做 SiC/GaN/IGBT 功率器件

   → 选 1200V + 大电流 + 脉冲 I‑V

3. 做晶圆、材料、MOS 结构研究

   → 必须选 I‑V + C‑V 一体化半导体参数分析仪

4. 追求极致性价比、国产替代

   → 选 普赛斯 / 概伦 这类专业国产仪器

五、我需要你补充 4 个信息，就能给你 “最终精准型号 + 报价区间”

1. 最高测试电压要多少？

2. 最大电流要多少？

3. 是否必须带 C‑V？

4. 预算大概多少（几万 / 十几万 / 几十万）？